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基礎(chǔ)信息Product information
產(chǎn)品名稱：靜電放電（ESD）協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)ANSI/ESD-S20.20
產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2025-06-09
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
靜電放電（ESD）協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)ANSI/ESD-S20.20-1999 標(biāo)準(zhǔn)所適用的領(lǐng)域包括：制造，處理，裝配，安裝，包裝，標(biāo)簽，服務(wù)，測(cè)試，檢驗(yàn)
產(chǎn)品特性Product characteristics
靜電放電(ESD)協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)ANSI/ESD-S20.20-1999
靜電放電協(xié)會(huì)
7900 Turin Road, Bldg 3, Ste 2,
Rome, NY 13440 2029 ?
美GUOGUO家標(biāo)準(zhǔn)
1999年8月4日批準(zhǔn)
目錄
1. 目的……………………………………………………………………………………………………… 4
2. 范圍……………………………………………………………………………………………………… 4
3. 參考出版物……………………………………………………………………………………………… 4
4. 定義……………………………………………………………………………………………………… 5
5. 工作人員安全…………………………………………………………………………………………… 5
2. 靜電放電之控制方案…………………………………………………………………………………… 5
2.0.1. 靜電放電控制方案的要求………………………………………………………………………………… 5
2.0.2. 靜電放電控制方案的指導(dǎo)原則…………………………………………………………………………… 5
2.0.3. 修正………………………………………………………………………………………………………… 5
2.1. 靜電放電控制方案之行政要求…………………………………………………………………………… 5
2.1.1. 靜電放電控制方案計(jì)劃…………………………………………………………………………………… 5
2.1.1.1. 靜電放電控制方案計(jì)劃之要求…………………………………………………………………………… 5
2.1.1.2. 靜電放電控制方案計(jì)劃之指導(dǎo)原則……………………………………………………………………… 5
2.1.2. 培訓(xùn)計(jì)劃…………………………………………………………………………………………………… 2
2.1.2.1. 培訓(xùn)計(jì)劃要求……………………………………………………………………………………………… 2
2.1.2.2. 培訓(xùn)計(jì)劃指導(dǎo)原則………………………………………………………………………………………… 2
2.1.3. 認(rèn)證計(jì)劃…………………………………………………………………………………………………… 2
2.1.3.1. 認(rèn)證計(jì)劃之要求…………………………………………………………………………………………… 2
2.1.3.2. 認(rèn)證計(jì)劃指導(dǎo)原則………………………………………………………………………………………… 2
2.2. 靜電放電控制方案之技術(shù)要求…………………………………………………………………………… 2
2.2.1. 接地及連接系統(tǒng)…………………………………………………………………………………………… 2
2.2.1.1. 接地及連接系統(tǒng)之要求…………………………………………………………………………………… 2
2.2.1.2. 接地及連接系統(tǒng)的指導(dǎo)原則……………………………………………………………………………… 2
2.2.2. 人員接地…………………………………………………………………………………………………… 2
2.2.2.1. 人員接地的要求…………………………………………………………………………………………… 2
2.2.2.2. 人員接地的指導(dǎo)原則……………………………………………………………………………………… 2
2.2.3. 被保護(hù)的區(qū)域……………………………………………………………………………………………… 7
2.2.3.1 被保護(hù)的區(qū)域之要求……………………………………………………………………………………… 7
2.2.3.2. 被保護(hù)區(qū)域的指導(dǎo)原則…………………………………………………………………………………… 7
2.2.4. 包裝………………………………………………………………………………………………………… 7
2.2.4.1 包裝的要求………………………………………………………………………………………………… 7
2.2.4.2. 包裝的指導(dǎo)原則…………………………………………………………………………………………… 7
2.2.5. 標(biāo)記………………………………………………………………………………………………………… 7
2.2.5.1. 靜電放電敏感裝置和設(shè)備………………………………………………………………………………… 7
2.2.5.2. 包裝………………………………………………………………………………………………………… 7
2.2.2. 設(shè)備………………………………………………………………………………………………………… 7
2.2.2.1. 交流電動(dòng)工具……………………………………………………………………………………………… 7
2.2.2.2. 電池作動(dòng)力和氣體作動(dòng)力的手持工具…………………………………………………………………… 7
2.2.2.3. 自動(dòng)化取放機(jī)……………………………………………………………………………………………… 7
2.2.7. 取放………………………………………………………………………………………………………… 7
2.2.7.1. 取放流程的要求…………………………………………………………………………………………… 7
2.2.7.2. 取放流程的指導(dǎo)原則……………………………………………………………………………………… 8
7. 附錄A - 敏感性測(cè)試…………………………………………………………………………………… 11
7.1. 靜電放電敏感性測(cè)試……………………………………………………………………………………… 11
7.1.1. 人體模型敏感度（HBM）………………………………………………………………………………… 11
7.1.2. 機(jī)器模型敏感度（MM）………………………………………………………………………………… 11
7.1.3. 帶電器件模型敏感度（CDM）…………………………………………………………………………… 11
7.2. 裝置，設(shè)備和設(shè)計(jì)強(qiáng)化…………………………………………………………………………………… 12
7.2.1. 裝置，設(shè)備和設(shè)計(jì)強(qiáng)化指導(dǎo)原則：……………………………………………………………………… 12
7.2.2. 直接接觸，非操作裝置之身體/手指或手/金屬測(cè)試：…………………………………………………… 12
7.2.3. 直接接觸操作中的設(shè)備之手/金屬測(cè)試：………………………………………………………………… 12
2
7.2.4. 間接接觸, 操作中的設(shè)備之家具模型測(cè)試：……………………………………………………………… 12
8. 附錄B - 相關(guān)文件………………………………………………………………………………………… 13
8.1. JUN事/美GUOZF文件：……………………………………………………………………………………… 13
8.2. 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：………………………………………………………………………………………………… 13
表格目錄
表 1. 靜電放電控制方案技術(shù)要求之概括……………………………………………………………………… 9
表 2. 器件的靜電放電敏感度之測(cè)量參考……………………………………………………………………… 11
表 3. 裝置和設(shè)備之靜電放電敏感性測(cè)試參考………………………………………………………………… 12
3
GUOGUO家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)(ANSI)/靜電放電(ESD)協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ANSI/ ESD-S20.20-1999
建立一個(gè)靜電放電控制方案的靜電放電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ?
ESD DS 5.3.1 靜電放電(ESD)敏感性測(cè)試之靜電放電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ? 組件級(jí)別上的帶電器件模型(CDM)
1
保護(hù)電氣和電子零件，裝置和設(shè)備(不包括電動(dòng)引BAO裝置)
1. 目的 ANSI EOS/ESD S 2.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測(cè)試方法之靜電放電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ?“接地”-推薦做法
本標(biāo)準(zhǔn)的目的是提供行政和技術(shù)上的要求，以及建立，實(shí)施和維護(hù)靜電放電控制方案(文中稱"方案")的指導(dǎo)。
ANSI/ESD S 7.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測(cè)試方法之美GUOGUO家標(biāo)準(zhǔn)局及靜電放電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)- 材料的電阻特性-地板材料
2. 范圍
本標(biāo)準(zhǔn)所適用的領(lǐng)域包括：制造，處理，裝配，安裝，包裝，標(biāo)簽，服務(wù)，測(cè)試，檢驗(yàn)以及其它除此之外，在處理電氣，電子零件，裝置和設(shè)備中，對(duì)靜電放電損害的敏感度超過或等于人體模型的100V。本標(biāo)準(zhǔn)不適用于電動(dòng)引BAO設(shè)備，易燃液體和粉末。
EOS/ESD S 8.1 靜電放電(ESD)敏感性測(cè)試之靜電放電協(xié)會(huì)
標(biāo)準(zhǔn) ? 標(biāo)志-靜電放電之警告
1
ESD S9.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測(cè)試方法之靜電放電協(xié)
會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ? 鞋類-電阻特性
1
3. 參考出版物
ESD DSP 10.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測(cè)試方法之靜電放
電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)草案 ? 自動(dòng)式處置
1
除非特別指明，以下文獻(xiàn)的版本，修正或校正，構(gòu)成
本 標(biāo)準(zhǔn)的一部分，作為特別擴(kuò)充。
ANSI/EOS/ESD S 11. 11 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)之靜電放電
協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ? 消電平面材料的表面電阻測(cè)量
1
EOS/ESD ADV 1.0 ECIS/靜電放電協(xié)會(huì)專門名詞表
1
ESD DS 11.12 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)之靜電放電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
? 消電平面材料的體電阻測(cè)量
1
ESD S1.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測(cè)試方法之靜電放電協(xié)
會(huì)標(biāo)準(zhǔn) - 防靜電手腕帶
1
ESD ADV 11.2 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)之靜電放電協(xié)會(huì)咨
詢文件 ? 犘擦電荷積累測(cè)試
1
EOS/ESD ADV 2.0 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的靜電放電協(xié)會(huì)
咨詢文件 ? 靜電放電手冊(cè)
1
ANSI/ E SD S11.31 評(píng)估靜電放電保護(hù)性材料之功能的靜電
放電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ? 包裝袋
1
ESD STM 2.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測(cè)試方法之靜電放
電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ? 工作服
1
ESD STM12.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測(cè)試方法之靜電放
電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ? 座椅-電阻特性
1
ANSI EOS/ESD S3.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)之靜電放電協(xié)
會(huì)標(biāo)準(zhǔn)? 電離化
1
ESD DS 13.1 焊接或拆焊手動(dòng)工具中的電位之測(cè)量的靜電
放電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
ESD S4.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測(cè)試方法之靜電放電協(xié)
會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ? 防靜電工作表面-電阻特性
1
ESD ADV53.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)之靜電放電協(xié)會(huì)咨詢
文件 ? 防靜電放電工作臺(tái)
1
E SD ST M4 .2 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測(cè)試方法之靜電放
電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ? 防靜電工作表面-消電的特性
1
ESD STM97.1 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測(cè)試方法之靜電放
電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ? 地板材料與鞋-人組合的電阻特性
1
ESD STM5.1 靜電放電(ESD)敏感性測(cè)試之靜電放電協(xié)會(huì)標(biāo)
準(zhǔn) ? 組件級(jí)別上的人體模型（HBM）
1
ESD STM97.2 保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的測(cè)試方法之靜電放
電協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) ? 地板材料和鞋-測(cè)量在人體上的電壓
1
ESD STM5.2 靜電放電(ESD)敏感性測(cè)試之靜電放電協(xié)會(huì)標(biāo)
準(zhǔn) ? 組件級(jí)別上的機(jī)器模型（MM）
1
ANSI C23.12 "靜電放電測(cè)試方法和電子設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)的美GUOGUO
家標(biāo)準(zhǔn)指南"
1
靜電放電協(xié)會(huì), 7900 Turin Roa d, Bldg 3, Ste 2, Rome , NY 13440-2029, 315-339-2937
4
ANSI/ESD-S20.20-1999
2. 靜電放電之控制方案
IEC 1000.4.2 " 工業(yè)生產(chǎn)過程測(cè)量及控制設(shè)備的電磁兼容
性, 第二部分： 靜電放電之需求"
2.0.1. 靜電放電控制方案的要求
IEEE STD C22.38 "IEEE之靜電放電指南: 靜電放電承受能
力的評(píng)估方法(電子設(shè)備次級(jí)組裝)"
MIL-STD-750 1020方法 JUN方標(biāo)準(zhǔn)，半導(dǎo)體裝置及靜電放電
敏感性(ESDS)分類之測(cè)試方法
2
MIL STD 883 ??3015 方法，GUO防部，測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)：微型
電 路，靜電放電敏感性 (ESDS) 分類
2
MIL STD 2073 1 ??? GUO防部，JUN事包裝之標(biāo)準(zhǔn)操作
2
MIL PRP 19500 ?? 功能規(guī)范，半導(dǎo)體裝置的一般規(guī)范
2
QML 19500 ? JUN方規(guī)范MIL PR PP 19500 ? 下的合格產(chǎn)品制造
商名單，半導(dǎo)體的一般規(guī)范
2
MIL PRP 38535 ?? 功能規(guī)范，集成電路(微型電路)制造的
一般規(guī)范
2
QML 38535 ? JUN方規(guī)范MIL PR P 38535 ?? 下的合格的*進(jìn)
微型電路制造商名單, 微電路制造的一般要求
2
VZAP, 靜電放電敏感性數(shù)據(jù)
3
4. 定義
本文中所使用的用語與EOS/ E SD 協(xié)會(huì)的詞匯表，E OS/ E SD
ADV 1.0，中的詞匯，是相符合的。
5. 工作人員安全
文件中描述的工作流程和設(shè)備，或許會(huì)導(dǎo)致操作人員暴露
于有害的電氣環(huán)境。本文件的用戶應(yīng)負(fù)責(zé)選擇符合相關(guān)法
律, 管理?xiàng)l例和內(nèi)外部政策的設(shè)備。用戶要慎重地注意
到，本標(biāo)準(zhǔn)不能替換或代替任何其它關(guān)于操作人員安全的
要求。
無論在哪里，只要操作人員會(huì)與電源相接觸的地方，接地
斷路器(GPCI)和其它安全保護(hù)措施應(yīng)被采用。
減少電氣傷害的操作應(yīng)進(jìn)行演習(xí)，正確的機(jī)臺(tái)接地指導(dǎo)必
須遵從。
如在此所描述的，該方案應(yīng)包括行政和技術(shù)要求。根據(jù)這
個(gè)方案，所處理的物體的zui高敏感度被記錄下來。按照本
文件的要求，使用單位應(yīng)建立，記錄，實(shí)施，維護(hù)以及核
實(shí)方案的遵守情況。
2.0.2. 靜電放電控制方案的指導(dǎo)原則
方案的主要宗旨是要提供連續(xù)的靜電放電保護(hù)。靜電控制
和保護(hù)需要將方案的要求，實(shí)施在設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、檢查、測(cè)
試、存貯、發(fā)貨、安裝、使用、維護(hù)、替換及維修等環(huán)
節(jié)。
2.0.3. 修正
本文件，或其中的部份, 可能不適用于所有的應(yīng)用。通過
評(píng)估每個(gè)要求對(duì)各具體應(yīng)用的適用性，來完成方案的修正
工作。完成了這個(gè)評(píng)估，要求可以被增加，被修改或被刪
除。對(duì)決議的修正，包括理論基礎(chǔ)，應(yīng)記錄在靜電放電控
制方案計(jì)劃(此后稱為" 計(jì)劃")中 。
2.1. 靜電放電控制方案之行政要求
2. 1.1. 靜電放電控制方案計(jì)劃
2.1.1.1. 靜電放電控制方案計(jì)劃之要求
各單位應(yīng)制定一個(gè)靜電放電控制方案計(jì)劃，將方案中的
每一個(gè)要求都一一列出。這些要求是：計(jì)劃，培訓(xùn)，符合
驗(yàn)證以及靜電放電控制方案計(jì)劃的技術(shù)要求。該計(jì)劃是實(shí)
施和檢驗(yàn)靜電放電控制方案的主要文件。其目標(biāo)是成為一
個(gè)與內(nèi)部質(zhì)量系統(tǒng)要求相符合的，充分實(shí)施和整合了的方
案。該計(jì)劃應(yīng)指出，本文中所描述的要求，并應(yīng)用于工作
中的各個(gè)方面。該計(jì)劃還應(yīng)包含各單位的具體要求，并隨
著技術(shù)，工藝及流程的變化而提高。如果合約上有器件或
裝配測(cè)試要求，確定靜電放電敏感性的選項(xiàng)還包括了
QPL 19500, QML 38535, VZAP ?? 數(shù)據(jù)或制造商的數(shù)據(jù)表。
努力辨認(rèn)和消除缺陷，并防止缺陷的出現(xiàn)，是計(jì)劃的一個(gè)
組成部分，以減少與靜電放電損害相關(guān)連的成本和危險(xiǎn)。
2.1.1.2. 靜電放電控制方案計(jì)劃之指導(dǎo)原則
該計(jì)劃應(yīng)對(duì)方案的適用范圍，任務(wù)，行動(dòng)以及為防護(hù)靜
電放電敏感達(dá)到或超過一定具體程度的對(duì)象，所采用的必
要措施進(jìn)行描述。明確單位內(nèi)部的任務(wù)和行動(dòng)之責(zé)任。列
出那些在方案中應(yīng)用的指導(dǎo)性和支持性文件。該計(jì)劃還應(yīng)
列出，方案中所應(yīng)用的靜電放電防護(hù)材料和設(shè)備的具體種
類。 一個(gè)實(shí)用的計(jì)劃的一個(gè)主要要素就是對(duì)零件，裝
置，及設(shè)備的靜電放電敏感性和防護(hù)水平的評(píng)估。建立靜
電放電敏感度的通用方法是，從三種用于描述靜電放電特
性的放電模型中，即人體模型(HB M) ，機(jī)器模型(MM)，帶
2
GUO防印刷服務(wù)獨(dú)立辦公室, Bldg 4D (NPM-DO D SSP), 700 Robbins
A ve ., Phila de lphia , PA 19111-5094, 215-297-5124
3
IIT Research Institute, 201 Mill, Rome, NY 13440, 315-336-2359
5
ANSI/ESD-S20.20-1999
電器件模型(C DM) （參見附錄A），選用一種或多種模
型。選擇具體的靜電放電控制流程或材料，取決于計(jì)劃的
制定者，同時(shí)也取決于對(duì)危險(xiǎn)的評(píng)估和零件，裝置及設(shè)備
的靜電放電敏感度的確立。該計(jì)劃還應(yīng)保證，靜電放電敏
感物件的供貨商和本單位，根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)建立和實(shí)施一個(gè)靜
電放電控制方案。
2.1.2. 培訓(xùn)計(jì)劃
2.1.2.1 培訓(xùn)計(jì)劃要求
應(yīng)對(duì)那些從事處理或接觸靜電放電敏感物件的工作人員
提供初級(jí)和周期性的，有關(guān)靜電放電提示和預(yù)防的培訓(xùn)。
培訓(xùn)計(jì)劃應(yīng)為工作人員定下靜電放電培訓(xùn)類型和頻率。培
訓(xùn)計(jì)劃要將每次培訓(xùn)的過程，記錄在個(gè)人培訓(xùn)文件檔案
中。培訓(xùn)的方法和具體技巧，由個(gè)單位選擇。被選擇的，
還應(yīng)包括一個(gè)客觀評(píng)價(jià)技術(shù)，以保證受訓(xùn)人員理解并得到
充分訓(xùn)練。
2.1.2.2 培訓(xùn)計(jì)劃指導(dǎo)原則
員工的周期性靜電放電培訓(xùn)，是方案中*的部
分。靜電放電培訓(xùn)包括初級(jí)和周期性培訓(xùn)，以加強(qiáng)方案的
要求并根據(jù)學(xué)習(xí)到的經(jīng)驗(yàn)作出修改。那些在檢討和審計(jì)中
發(fā)現(xiàn)的缺點(diǎn)之修正及其方法，也應(yīng)該是培訓(xùn)過程的一部
分。培訓(xùn)的要求應(yīng)該與單位的處置靜電放電敏感零件、裝
置及設(shè)備的流程同時(shí)建立起來。
2.1.3. 認(rèn)證計(jì)劃
2.1.3.1 認(rèn)證計(jì)劃之要求
認(rèn)證計(jì)劃的建立，是要確保單位能夠達(dá)到靜電放電方案
計(jì)劃的要求。正式的審計(jì)或驗(yàn)證應(yīng)根據(jù)認(rèn)證計(jì)劃進(jìn)行，該
計(jì)劃要明確認(rèn)證的要求，認(rèn)證的次數(shù)。通過選用測(cè)試設(shè)
備，來測(cè)量靜電放電方案計(jì)劃中的技術(shù)要求之特性。
2.1.3.2 認(rèn)證計(jì)劃指導(dǎo)原則
除了內(nèi)部審計(jì), 為確保與計(jì)劃中的要求相符合，還應(yīng)進(jìn)
行外部審計(jì)(由提供靜電放電敏感物件的機(jī)構(gòu)及供貨商來
執(zhí)行)。按靜電放電方案之計(jì)劃中的技術(shù)要求，進(jìn)行的例
行檢查應(yīng)包含在驗(yàn)證中。驗(yàn)證檢查的頻率取決于控制對(duì)象
的用途，它的耐久性及相關(guān)聯(lián)的失效風(fēng)險(xiǎn)。
2.2. 靜電放電控制方案之技術(shù)要求
表1確認(rèn)和描述了，在建立靜電放電控制方案和計(jì)劃過程
中，所用到的關(guān)鍵的技術(shù)要求。注意，對(duì)每一項(xiàng)技術(shù)要
求，都有必要的和選擇的實(shí)施過程或方法（用“R”或
“O”表示），以滿足該項(xiàng)技術(shù)要求。如果，對(duì)應(yīng)一項(xiàng)技
術(shù)要求，有一個(gè)必要實(shí)施的過程或方法，那幺，該實(shí)施的
過程或方法就必須被采用。如果，還有一些附加的選擇項(xiàng)
目，那幺，這些選擇項(xiàng)目可以被選入，也可以不被選入靜
電放電控制方案的計(jì)劃中。如果，一項(xiàng)技術(shù)要求只含有一
些選擇項(xiàng)目（由“O”表示），那幺，至少必須選擇一項(xiàng)
選擇項(xiàng)目，實(shí)施于靜電放電控制方案的計(jì)劃中。該計(jì)劃應(yīng)
包括測(cè)試方法，許可范圍和周期性測(cè)試的間隔時(shí)間。表1
中的區(qū)域1 (Area 1.)被選作*靜電放電控制范圍，譬如制
造業(yè)，生產(chǎn)或分布工場(chǎng)設(shè)施。區(qū)域2 (Area 2.)被選為臨時(shí)控
制靜電放電防治區(qū)域，如現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)區(qū)或通常不設(shè)防護(hù)裝備
的遙遠(yuǎn)偏僻的位置。若采用的測(cè)試方法與表1所列出的測(cè)
試方法不同，應(yīng)被記錄下來。其它的指導(dǎo)原則能在ESD
ADV 2.0關(guān)于保護(hù)靜電放電敏感事項(xiàng)的靜電放電協(xié)會(huì)咨詢
文件 ? 靜電放電手冊(cè)中找到。
2.2.1. 接地及連接系統(tǒng)
2.2.1.1. 接地及連接系統(tǒng)之要求
接地/ 連接系統(tǒng)應(yīng)被使用，以保證靜電放電敏感物件、
工作人員和所有其它導(dǎo)電體(如移動(dòng)設(shè)備)，處在同樣的電
位。至少，靜電放電敏感對(duì)象、工作人員和其它相關(guān)導(dǎo)電
體應(yīng)相互連接或電氣互聯(lián)。
2.2.1.2 接地及連接系統(tǒng)的指導(dǎo)原則
在大多數(shù)情況下, 第三條導(dǎo)線( 綠色的) 交流設(shè)備接地
4
是
接地的*先選擇。當(dāng)?shù)谌龡l交流設(shè)備接地導(dǎo)線不能用到
或不適用時(shí), 工作人員應(yīng)該通過腕帶或其它接地系統(tǒng)與靜
電放電敏感物件的一個(gè)導(dǎo)電性組件相連接，以保證所有組
件處在同樣電位。
2.2.2. 人員接地
2.2.2.1. 人員接地的要求
當(dāng)處理靜電放電敏感物件時(shí)，所有人員應(yīng)與接地點(diǎn)或?qū)?br />用接地點(diǎn)相連接。當(dāng)人員坐在有靜電放電防護(hù)的工作臺(tái)
時(shí)，他們應(yīng)通過腕帶系統(tǒng)被連接到共同接地點(diǎn)。
注意：當(dāng)接地人員在通電設(shè)備上工作時(shí)，單位必
須知道當(dāng)?shù)氐陌踩杉罢鲁?。
2.2.2.2 人員接地的指導(dǎo)原則
在所有個(gè)案中，人員接地系統(tǒng)包括人、控制物及與接地
點(diǎn)的連接。紀(jì)錄表應(yīng)該保存，以證實(shí)的工作人員己經(jīng)測(cè)試
過他們的個(gè)人接地裝置。處理靜電放電敏感產(chǎn)品之前，工
作人員應(yīng)該檢查固定的監(jiān)測(cè)儀器( 當(dāng)被使用時(shí))以保證他們
有效及能夠操作。另外, 固定的監(jiān)測(cè)儀器應(yīng)該定期地依照
設(shè)計(jì)被檢查以保證其功能。靜電放電防護(hù)地板，與批準(zhǔn)的
鞋類一同使用時(shí), 也能在站立式操作中，用作腕帶系統(tǒng)之
外的一個(gè)選擇。鞋類包括腳接地器，鞋子或短襪。當(dāng)設(shè)備
接地或輔助接地系統(tǒng)不能使用時(shí), 互相連接或電氣連接(到
接地)也能被使用。
2.2.3. 被保護(hù)的區(qū)域
4
設(shè)備接地的第三條線的顏色會(huì)根據(jù)不同的地方，GUO家或
GUO際條例而變化
6
ANSI/ESD-S20.20-1999
2.2.3. 1 被保護(hù)的區(qū)域之要求
應(yīng)在被保護(hù)的區(qū)域中，處理沒有防靜電覆蓋或包裝的靜電放電敏感零件, 裝置和設(shè)備。表明被保護(hù)之區(qū)域的警告標(biāo)志應(yīng)張貼在工作人員進(jìn)入保護(hù)區(qū)域的入口之前，并且能清晰可見。在非保護(hù)的區(qū)域，靜電放電敏感物件應(yīng)使用防護(hù)靜電包裝。只有完成了適當(dāng)?shù)撵o電放電培訓(xùn)的人員，才能進(jìn)入保護(hù)區(qū)域。在保護(hù)區(qū)域里，受過培訓(xùn)的人員應(yīng)帶領(lǐng)著未受過培訓(xùn)的人員。所有非必要的絕緣體, 譬如那些塑料或紙制的(如咖啡杯子，食物封包和個(gè)人物品)必須從工作臺(tái)取走。若考慮到靜電場(chǎng)會(huì)構(gòu)成威脅，電離或其它緩和電荷積累的技術(shù)，可用在工作臺(tái)上，以中和制程中所有必
要的絕緣體上的靜電場(chǎng) ( 如靜電放電敏感機(jī)件零件、零件載體和專業(yè)工具)。
2.2.3.2 被保護(hù)區(qū)域的指導(dǎo)原則
保護(hù)區(qū)域也許是一個(gè)工作臺(tái)(固定或移動(dòng)式的) ，實(shí)驗(yàn)室，房間，大廈或任何其它具有預(yù)先邊界的，包含限制靜電位的材料和設(shè)備的區(qū)域。在靜電放電控制方案中，濕度控制也是一個(gè)關(guān)鍵要素。當(dāng)濕度減少時(shí)，靜電的產(chǎn)生和積累的傾向相對(duì)增加。
所有必要的絕緣體，如果帶有超出二千伏特的電場(chǎng)，應(yīng)該與靜電放電敏感物件保持至少十二英寸的距離。二千伏特是指，在測(cè)量位置處測(cè)得的電場(chǎng)值，它并不直接地與這個(gè)物件的電位有關(guān)。靜電場(chǎng)的準(zhǔn)確的測(cè)量，要求該測(cè)量的操作人員必須熟悉測(cè)量器材的操作。多數(shù)手持的計(jì)量器，要求在與物體有一固定的距離下取讀數(shù)。儀器制造商通常待測(cè)物體的zui小的尺寸。如果物體比zui小尺寸還小的話，也許不能提供準(zhǔn)確讀數(shù)。關(guān)于保護(hù)區(qū)域的一些另外的指導(dǎo)原則可在ESD ADV 2.0中找到。
2.2.4. 包裝
2.2.4.1 包裝的要求
防靜電包裝和包裝標(biāo)志應(yīng)符合合同，采購(gòu)訂單，圖紙或其它文獻(xiàn)。當(dāng)合同，采購(gòu)訂單，圖紙或其它文獻(xiàn)沒有界定防靜電包裝時(shí)，各單位應(yīng)在靜電放電控制方案的計(jì)劃之內(nèi)，定義靜電放電敏感對(duì)象的防靜電包裝要求。在保護(hù)區(qū)域內(nèi)或工作場(chǎng)所之間，所有移動(dòng)材料的包裝也應(yīng)被定義。
2.2.4.2. 包裝的指導(dǎo)原則
防靜電包裝的技術(shù)范圍很廣泛。有些技術(shù)包括低帶電包裝袋和包裝材料，隔離材料，消電包裝材料，靜電屏蔽，導(dǎo)電性分流器和EMI/ R PI 屏蔽的使用。所有或一些包裝的類型，可以與另外一種類型結(jié)合使用，以達(dá)到綜合的保護(hù)的水平。如果用戶不知道所使用的物品之敏感度, 可采用靜電屏蔽包裝。典型的包裝材料包括了，聚乙烯板材和薄膜，具有特別波紋涂層的紙盒，含碳的塑料，金屬化的塑料薄膜和各種各樣的箔材。防靜電包裝的主要目標(biāo)，是要防止靜電放電直接發(fā)生在所包裝的靜電放電敏感物件上，及將電荷通過外表面消散。另外, 包裝應(yīng)該將在靜電放電敏感物件上，因外部靜電場(chǎng)和犘擦生電而產(chǎn)生的電荷減到zui小。用戶應(yīng)該知道, 一些包裝材料也許依賴濕度且壽命有限。它們也可因弄皺, 刺破和折疊而失去防靜電特性。
包裝材料也會(huì)因放氣，污染或帶來微粒，造成與生產(chǎn)相關(guān)的問題。重要的是，各單位應(yīng)從制程，存貯和環(huán)境兼容性出發(fā)，去評(píng)估防靜電包裝的材料。
2.2.5. 標(biāo)記
2.2.5.1. 靜電放電敏感裝置和設(shè)備
靜電放電敏感裝置和包含靜電放電敏感零件及裝置的設(shè)備，應(yīng)該標(biāo)記著小心靜電放電的警告標(biāo)志, ( 如：EOS/ E SD S8.1) 。該標(biāo)志應(yīng)位于設(shè)備上，操作人員容易看得見的位置。此外，當(dāng)一個(gè)靜電放電敏感裝置被組合到下一個(gè)比較高級(jí)的裝置時(shí)，該標(biāo)志也應(yīng)該位于明顯易見的位置。
2.2.5.2 包裝
防靜電包裝應(yīng)根據(jù)EOS/ E SD S8.1 進(jìn)行標(biāo)記。在JUN事應(yīng)用領(lǐng)域應(yīng)根據(jù)MIL-STD-2073-1進(jìn)行標(biāo)記。
2.2.2. 設(shè)備
對(duì)于設(shè)備的進(jìn)一步的指導(dǎo)原則，可在ESD.ADV.2.0 中找
到。
2.2.2.1. 交流電動(dòng)工具
交流電動(dòng)工具的工作部件，應(yīng)該能提供一個(gè)導(dǎo)電接地途徑。類似焊接電烙鐵的新式通電手持工具，從焊頭到接地的電阻應(yīng)不小于1.0 歐姆。
注意：這電阻值可能隨著使用而增加，但應(yīng)該以小于20.0 歐姆作為驗(yàn)證目標(biāo)。
2.2.2.2. 電池作動(dòng)力和氣體作動(dòng)力的手持工具
電池作動(dòng)和氣體作動(dòng)手持工具，當(dāng)被拿著時(shí)，應(yīng)該有小于1 x 10·12 歐姆的接地電阻。
2.2.2.3. 自動(dòng)化取放機(jī)
自動(dòng)化取放機(jī)上，無論是在靜止或是移動(dòng)狀態(tài)，都應(yīng)給所有導(dǎo)電材料或消電材料制成的組件，提供一個(gè)連續(xù)的導(dǎo)電接地通路。這種設(shè)備，應(yīng)該將被取放的靜電放電敏感物件所產(chǎn)生的電荷減到zui小。在組件的取放途中，必須采用絕緣材料的零件時(shí)，這些零件需精心設(shè)計(jì)，使得在被取放元組件上，產(chǎn)生的電場(chǎng)和電荷zui小。
2.2.7. 取放
2.2.7.1. 取放流程的要求
防靜電的取放流程，應(yīng)被建立，存檔及實(shí)施。在所有區(qū)域，只要有手工或機(jī)器取放靜電放電敏感物件的制程，就必須有防靜電的取放流程。在防護(hù)覆蓋物或包裝之外的靜電放電敏感物件，只能在被保護(hù)區(qū)域中取放。
7
ANSI/ESD-S20.20-1999
2.2.7.2. 取放流程的指導(dǎo)原則 取放流程應(yīng)該指出所有的操作以及，在保護(hù)和非保護(hù)區(qū)內(nèi)，靜電放電敏感物件將被取放的位置。
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ANSI/ESD-S20.20-1999
表 1. – 靜電放電控制方案技術(shù)要求之概括
（關(guān)于選擇測(cè)試方法的進(jìn)一步的指導(dǎo)，請(qǐng)參閱2.2章節(jié)）
技術(shù)要求 參考章節(jié)
實(shí)施程序或方法
區(qū)域1
制造區(qū)
區(qū)域2
服務(wù)現(xiàn)場(chǎng)
測(cè)試方法，
標(biāo)準(zhǔn)或咨詢
推薦范圍
接地/連接系統(tǒng) 2.2.1 ANSI EOS/ESD
S 2.1
設(shè)備接地
R O ANSI EOS/ESD
S 2.1
<1.0 歐姆
AC 阻抗
輔助設(shè)備接地
O O ANSI EOS/ESD
S 2.1
<1.0 歐姆
AC 阻抗
同電位連接 O O ESD ADV 2.0 <1.0 x 10
9
歐姆
2
共同接地點(diǎn)
R O ANSI EOS/ESD
S 2.1
<1.0 歐姆
AC 阻抗
人員接地 2.2.2
腕帶系統(tǒng)
坐下操作 R R
站立操作 O O
ESD S 1.1 < 35 x 10
2
歐姆
7
地板-鞋面系統(tǒng) O O ESD STM 97.1
or ESD STM
97.2
< 35 x 10
2
歐姆
2
or
< 100 伏特
2
保護(hù)區(qū)域 2.2.3
ESD S 4.1 < 1 x 10
9
歐姆 工作臺(tái)面 O O
ESD STM 4.2 < 200 伏特
2
腕帶聯(lián)線 O O ESD S 1.1 0.8 x 10
2
至 1.2 x
10
2
歐姆
鞋類 O O ESD S 9.1 <1 x 10
9
歐姆
7
地板 O O ANSI ESD S 7.1 <1 x 10
9
歐姆
7
坐位 O O ESD STM 12.1 <1 x 10
9
歐姆
7
電離化（除房間系
統(tǒng)之外）
O O ANSI EOS/ESD
S 3.1
< ± 50 伏特
偏置電位
2
電離化
（房間系統(tǒng)）
O O ANSI EOS/ESD
S 3.1
< ± 150 伏特
偏置電位
5
貨架 O O ESD ADV 53.1 <1 x 10
9
歐姆
7
移動(dòng)設(shè)備 O O < 1 x 10
9
歐姆
2
連續(xù)顯示器 O O 制造商規(guī)格 N/A
5
推薦范圍中的數(shù)值是通過上表中所提供的測(cè)試方法, 標(biāo)準(zhǔn)及咨詢所獲得。關(guān)于其它測(cè)試方法的進(jìn)一步指導(dǎo)，請(qǐng)參閱2.2章節(jié)
2
這只是一個(gè)建意值，沒有被任何標(biāo)準(zhǔn)所采用
7
該數(shù)值與當(dāng)前的標(biāo)準(zhǔn)值有所不同。協(xié)調(diào)工作正在進(jìn)行
9
ANSI/ESD-S20.20-1999
技術(shù)要求 參考章節(jié)
實(shí)施程序或方法
區(qū)域1
制造區(qū)
區(qū)域2
服務(wù)現(xiàn)場(chǎng)
測(cè)試方法，
標(biāo)準(zhǔn)或咨詢
推薦范圍
標(biāo)志 R O N/A
2.2.4 對(duì)靜電放電敏感物
品的包裝
R R 見靜電放電敏
感物品包裝之
要求
N/A
2.2.2 設(shè)備 ESD ADV 2.0
2.2.2.1 交流電動(dòng)工具 O O ESD DS 13.1 <1.0 歐姆
2
2.2.2.2 電池驅(qū)動(dòng)和
氣動(dòng)手持工具
O O < 1 x 10
12
歐姆
2
2.2.2.3 自動(dòng)化的取放器
O O ESD DSP 10.1
工作服
O O E SD STM 2.1 1 x 10
5
歐姆 至1
x 10
11
歐姆
防護(hù)材料標(biāo)志 O O ESD S8.1
濕度 O O N/A >30% Rh <70%
2
靜電放電包裝 2.2.4
導(dǎo)電性
O O EOS/ESD S11.11
<1 x 10
4
歐姆
消電性 O O EOS/ESD
S11.11
ESD DS11.12
≥ 1 x 10
4
歐姆 至
<1 x 10
11
歐姆
屏蔽 O O ESD S11.31 < 50 nJ
2
低帶電
O O ESD ADV 11.2
防護(hù)材料標(biāo)志 O O EOS/ESD S8.1
R - 必須實(shí)施程序或方法
O - 選擇性實(shí)施程序或方法
10
ANSI/ESD-S20.20-1999
7. 附錄A - 敏感性測(cè)試
7. 1. 靜電放電敏感性測(cè)試
技術(shù)文獻(xiàn)和失效分析資料表明，靜電放電失效是由于一系列的，復(fù)雜的，相互關(guān)聯(lián)的作用。一些影響靜電放電敏感性的因素，包括了靜電放電電流和能量，靜電放電的上升時(shí)間，零件設(shè)計(jì)，制造技術(shù)和零件包裝樣式。能量敏感器件的損壞是由于，電流流過雙極連接點(diǎn)，保護(hù)電阻器, 或金屬氧化物半導(dǎo)體的保護(hù)晶體管。電壓敏感器件的損壞是由于，電壓超過了擊穿電壓。電子器件的靜電放電敏感性測(cè)試，無論是采用帶電器件模型（CDM ），機(jī)器模型（MM ）還是人體模型（HB M ），都能提供一個(gè)靜電放電敏感度，使之可用特定的參量與其它器件進(jìn)行比較。任何特定模型所確定的器件之靜電放電敏感性（以伏特定義）， 并不一定是在制造， 制程或使用中的實(shí)際損壞電位水平。表2為各種靜電放電敏感性測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)和測(cè)試方法提供了一個(gè)參考。
7. 1. 1. 人體模型敏感度（HBM）
依照由人體模型標(biāo)準(zhǔn)所作的模型，靜電放電損壞來源于帶電的人體。這個(gè)測(cè)試模型表示，放電從人體的指尖傳到器件上的導(dǎo)電接頭。該模型通過一個(gè)開關(guān)組件，將充了電的100 pP電容器，在待測(cè)器件和與之相串聯(lián)的一個(gè)1500 歐姆電阻器上放電。放電本身是有2~10納秒上升時(shí)間，和大約150 納秒脈沖寬度的雙重指數(shù)信號(hào)波形。使用1500歐姆串聯(lián)電阻器，意味著這個(gè)模型接近一個(gè)電流源。所有器件都應(yīng)該被視為HBM敏感。器件的人體模型靜電放電敏感度，能通過選用一個(gè)參考的測(cè)試方法去測(cè)試確定。人體模型敏感度可以在RAC VZAP，合格制造商，產(chǎn)品列單(OML-19500) 或合格的制造商名單(QML38535)
中找到 。
7.1.2. 機(jī)器模型敏感度（MM）
機(jī)器模型的損害主要來源，是能量迅速地從一個(gè)被充電的導(dǎo)電體傳輸?shù)狡骷膶?dǎo)電接頭。這個(gè)靜電放電模型是200 pP電容直接對(duì)500 nH電感器放電，沒有串聯(lián)電阻。由于缺乏限制電流的串聯(lián)電阻器，這個(gè)模型接近一個(gè)電壓源。在現(xiàn)實(shí)中，這個(gè)模型代表了，物件之間的迅速放電，譬如帶電的電路板裝置，帶電的電線或一個(gè)自動(dòng)測(cè)試的傳導(dǎo)手臂。放電本身是具有5~8納秒上升時(shí)間和大約80納秒周期的正弦衰減波形。
7.1.3. 帶電器件模型敏感度（CDM）
帶電器件模型的損害主要來源，是能量從一個(gè)帶電器件迅速地釋放。 靜電放電*不受器件影響，但器件與地面的距離，卻能影響實(shí)際的失效水平。該模型假定，當(dāng)帶電器件的導(dǎo)電接頭與具有不同電位的金屬表面接觸時(shí)，會(huì)發(fā)生迅速放電。帶電器件模型測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)備過程中的一個(gè)主要問題，是如何找到適當(dāng)儀器測(cè)量放電過程。信號(hào)波形的上升時(shí)間經(jīng)常是少于200微微秒。整個(gè)過程可能發(fā)生在少于2.0納秒的時(shí)間里。雖然時(shí)間非常短, 放電時(shí)電流卻能達(dá)到幾十安培的水平。
表 2. – 器件的靜電放電敏感度之測(cè)量參考
靜電放電模型 器件的靜電放電敏感度之測(cè)試標(biāo)淮及方法
人體模型（HBM） ESD STM5.1
MIL-STD-883 方法3015
MIL-STD-750 方法1020
MIL-PRP-19500
MIL-PRP-38535
機(jī)器模型（MM） E SD-STM5.2
帶電器件模型（CDM） ESD DS5.3.1
11
ANSI/ESD-S20.20-1999
7.2. 裝置，設(shè)備和設(shè)計(jì)強(qiáng)化
7.2.1 裝置，設(shè)備和設(shè)計(jì)強(qiáng)化指導(dǎo)原則：
裝置和設(shè)備應(yīng)該有防護(hù)電路或技術(shù)，以達(dá)到所期待的設(shè)計(jì)目標(biāo)。根據(jù)模擬模型，或?qū)嶋H測(cè)試，來確定在裝置及設(shè)備靜電
放電的敏感性。表3提供了一個(gè)與裝置和設(shè)備敏感性測(cè)試相關(guān)聯(lián)的，各種測(cè)試方法的快速參考。
7.2.2. 直接接觸，非操作裝置之身體/手指或手/金屬測(cè)試：
該模型可用于，核實(shí)在非操作情況下，裝置不會(huì)因?yàn)橹苯咏佑|到輸入或輸出及過渡接口的接頭而遭損壞。而這種危險(xiǎn)存
在于所有類型的裝置，請(qǐng)看表3。
7.2.3. 直接接觸操作中的設(shè)備之手/金屬測(cè)試：
該模型可用于，核實(shí)在正常維護(hù)過程下，操作中的設(shè)備，不會(huì)因?yàn)橹苯咏佑|到操作員可觸到的接觸點(diǎn)和暴露出來的表
面，而被損壞(或引起不可恢復(fù)性錯(cuò)誤)。這種危險(xiǎn)只限于，操作員正在進(jìn)行調(diào)整或維護(hù)活動(dòng)的，運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備之中，請(qǐng)看表3。
7.2.4. 間接接觸, 操作中的設(shè)備之家具模型測(cè)試 ：
該模型可用于，核實(shí)在正常工作時(shí)，家庭或辦公室環(huán)境中操作的設(shè)備，不會(huì)因?yàn)樵O(shè)備附近間接接觸而被損壞(或引起不可
恢復(fù)性錯(cuò)誤)。這種危險(xiǎn)存在于所有家庭或辦公室環(huán)境里的電子設(shè)備，請(qǐng)看表3。
表 3.–裝置和設(shè)備之靜電放電敏感性測(cè)試參考
靜電放電裝置/設(shè)備模型 靜電放電測(cè)試標(biāo)淮或方法
人體/手指之人體模型（HBM） IEEE STD C22.38（次級(jí)裝置）
手/金屬之人體模型（HBM） IEC 1000-4-2
ANSI C23.12（設(shè)備）
家具模型 ANSI C23.12（設(shè)備）
12
ANSI/ESD-S20.20-1999
8. 附錄B - 相關(guān)文件
以下列出的文件提供進(jìn)一步的參考。有些文件也許已被QUXIAO。然而, 這個(gè)目錄提供了所有的，在本標(biāo)準(zhǔn)的準(zhǔn)備中作為參考的
文件。
8.1. JUN事/美GUOZF文件：
PED-STD-101, "聯(lián)邦測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)"
MIL-B-1 17, "袋子，套管和管子內(nèi)部包裝"
MIL-PRP-81705, "隔離材料，靈活的，無靜電的，加熱密封的"
MIL-E-17555, "電子和電氣設(shè)備，輔助配件，和臨時(shí)對(duì)象 (維修件): 包裝"
MIL-HDBK-223, "保護(hù)電子和電氣零件，裝置，和設(shè)備(不包括電動(dòng)引BAO裝置)之靜電放電控制手冊(cè)"
MIL-M-38510, "JUN用微型電路的一般規(guī)格"
MIL-P-82242, "塑料膜，導(dǎo)電性的，加熱密封的，靈活的"
MIL-PRP-87893, "工作站，靜電放電(ESD) 控制"
MIL-STD-129, "運(yùn)貨和存貯標(biāo)記"
MIL-STD-1285, "電子和電氣零件之標(biāo)記"
MIL-STD-1282, "保護(hù)電子和電氣零件，裝置，和設(shè)備(不包括電動(dòng)引BAO裝置)之靜電放電控制方案"
MMA-1985-79, 版本3，"評(píng)估犘擦生電的產(chǎn)生和衰減的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法"
8.2. 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn):
ANSIAEEE-STD-142, "IEEE 綠皮書 (工業(yè)和商用電力系統(tǒng)之IEEE推薦的接地實(shí)踐方法)
ANSI/EIA-225, "處理靜電放電敏感(ESDS)器件的要求"
ANSI/EIA-541, "電子產(chǎn)品的運(yùn)輸包裝"
ANSI/EIA-583, "濕氣敏感對(duì)象的包裝材料標(biāo)準(zhǔn)"
ESD-ADV3.2, "空氣電離器的選擇和采納"
ESDSIL, "可靠性分析中心 (RAC) 靜電放電敏感對(duì)象名單"
EIA-471, "靜電敏感器件的標(biāo)志和卷標(biāo)'"
IEC 21340-5-1, "電子器件的靜電保護(hù)：一般規(guī)定"
EN 100015-1, "基本規(guī)范: 靜電器件的保護(hù)- *部分：一般規(guī)定"
ANSI/ESD-S20.20-1999
中 - English 對(duì)照
Requirement – 要求
Program – 方案
Organization – 單位
Plan – 計(jì)劃
Sensitivity – 敏感性，敏感度
Assembly – 裝置，裝配
Procedure – 流程
Guidance – 指導(dǎo)原則
ESDS – 靜電放電敏感的
Code – 章程
Contrived Ground – 接地
Marking – 標(biāo)記
Equipment – 設(shè)備
Handler – 取放機(jī)
Bonding – 連接
Ionization – 電離化
Susceptibility – 感受性，敏感性
Componente – 組件
Device – 器件
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